| 日本語 | ISO 14644(クリーンルーム) |
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| English | ISO 14644 (Cleanrooms and Associated Controlled Environments) |
| 中文 | ISO 14644(洁净室及相关受控环境) |
ISO 14644(クリーンルーム)とは
ISO 14644は、クリーンルームの清浄度を空気中の粒子数でクラス分けし、その試験や運用の方法を定める規格群です。半導体、医薬、医療機器、精密部品の製造で、環境の基準や認定の根拠になります。粒子数や差圧、温湿度のモニタリング結果を記録しロットに紐付ける場面は、MESや環境モニタリングの典型的な用途です。
Definition (English)
A series of standards that classify cleanroom cleanliness by airborne particle counts and define testing and operating methods. It is the basis for environmental criteria in semiconductor, pharmaceutical, medical device and precision part production. Linking particle, pressure and temperature monitoring records to lots is a typical MES or environmental monitoring use.
释义(中文)
按空气中粒子数对洁净室洁净度分级,并规定测试与运行方法的标准系列。是半导体、制药、医疗器械和精密零件制造中环境要求与认定的依据。把粒子数、压差、温湿度监测记录与批次关联,是MES及环境监测的典型用途。
関連する用語
参照した規格・文献
- ISO 14644
釈義は当社が独自に記述したものです。規格の条文は転載していません。
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出典表記の例
株式会社サオス MES-DX「MES用語集:ISO 14644(クリーンルーム)」https://mes-dx.com/terms/iso-14644(CC BY 4.0)
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<blockquote cite="https://mes-dx.com/terms/iso-14644"> <p>ISO 14644は、クリーンルームの清浄度を空気中の粒子数でクラス分けし、その試験や運用の方法を定める規格群です。</p> <footer>出典:<a href="https://mes-dx.com/terms/iso-14644">株式会社サオス MES-DX「MES用語集:ISO 14644(クリーンルーム)」</a>(<a href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/deed.ja">CC BY 4.0</a>)</footer> </blockquote>