SEMI E10とは？意味と英語・中国語表記

三言語の表記
日本語	SEMI E10
English	SEMI E10 (Equipment RAM and Utilization)
中文	SEMI E10（设备可靠性、可用性、可维护性及利用率）

SEMI E10とは

SEMI E10は、半導体製造装置の稼働状態を、生産中、待機、保全中などの区分に分けて、信頼性・可用性・保守性や稼働率の算出方法を定める規格です。装置の時間をどの分類に入れるかが決まっているため、装置メーカーやファブ間で稼働率を比較できます。半導体以外のOEE算出にも考え方が応用されることがあります。

Definition (English)

A semiconductor industry standard that classifies equipment time into states such as productive, standby and maintenance, and defines how to compute reliability, availability, maintainability and utilization. Because time classification is fixed, results are comparable across makers and fabs. Its ideas are sometimes applied to OEE outside semiconductors.

释义（中文）

半导体行业标准，把设备时间划分为生产、待机、维护等状态，并规定可靠性、可用性、可维护性和利用率的计算方法。由于时间分类固定，设备商和晶圆厂之间的结果可比。其思路有时也用于半导体以外的OEE计算。

参照した規格・文献

SEMI E10

釈義は当社が独自に記述したものです。規格の条文は転載していません。

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出典表記の例

株式会社サオス MES-DX「MES用語集：SEMI E10」https://mes-dx.com/terms/semi-e10（CC BY 4.0）

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<blockquote cite="https://mes-dx.com/terms/semi-e10">
  <p>SEMI E10は、半導体製造装置の稼働状態を、生産中、待機、保全中などの区分に分けて、信頼性・可用性・保守性や稼働率の算出方法を定める規格です。</p>
  <footer>出典：<a href="https://mes-dx.com/terms/semi-e10">株式会社サオス MES-DX「MES用語集：SEMI E10」</a>（<a href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/deed.ja">CC BY 4.0</a>）</footer>
</blockquote>

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この記事を書いた人

株式会社サオス MESソリューション部

DELMIA Apriso を中核とした MES / 製造DX の導入・運用・人材育成を手がけるITコンサルティング企業。ISO 9001:2015 / ISO 27001:2022 認証取得。日本・中国・米国で製造業のMES導入を手がけた実務者が、欧米・中国の一次情報にあたって書いています。

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